未来の食品業界をこれひとつで解決

製品説明・スペック紹介

【最大1500SLPM（窒素ガス）までの制御が行える、大流量マスフローです】

単純なマスフローメータであれば、1500SLPMの計測を行えるものは珍しくありませんが、
流量監視だけでなく、内蔵比例電磁弁にて制御まで行える、大流量マスフローコントローラです。
＊保護等級　IP 65　取得機種有り

対象ガス：窒素／空気／酸素／水素／ヘリウム／アルゴン／二酸化炭素　など、腐食性の無いガス。
注：アンモニア仕様は特注できます。
ガス種によって、使用可能な流量／圧力範囲は異なりますので、お問合せください。（＊保護等級　IP 65　取得機種有り ）

《用途》

大気圧非平衡プラズマの流体制御
プラズマの安定には、エネルギー源の安定の他に、媒体となる気体（窒素、アルゴン、ヘリウム、その他）の流量制御の安定がかかせません。
その気体流量の単なる監視だけでは無く、制御まで行える、マスフローコントローラです。

取り扱い企業

企業名

ビュルケルトジャパン株式会社同企業の情報・その他製品を見る

所在地

〒112-0005 東京都文京区水道1-12-15白鳥橋三笠ビル

電話

03-5804-5020

Webサイト

https://www.burkert.jp/jp

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