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共通ツール│流量計、フローメータ

大気圧プラズマ向 マスフローコントローラ（MFC）

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得意な分野・カテゴリー

飲料・乳製品

惣菜・調理食品

製品説明・スペック紹介

【最大1500SLPM（窒素ガス）までの制御が行える、大流量マスフローです】

単純なマスフローメータであれば、1500SLPMの計測を行えるものは珍しくありませんが、
流量監視だけでなく、内蔵比例電磁弁にて制御まで行える、大流量マスフローコントローラです。
＊保護等級　IP 65　取得機種有り

対象ガス：窒素／空気／酸素／水素／ヘリウム／アルゴン／二酸化炭素　など、腐食性の無いガス。
注：アンモニア仕様は特注できます。
ガス種によって、使用可能な流量／圧力範囲は異なりますので、お問合せください。（＊保護等級　IP 65　取得機種有り ）

《用途》

大気圧非平衡プラズマの流体制御
プラズマの安定には、エネルギー源の安定の他に、媒体となる気体（窒素、アルゴン、ヘリウム、その他）の流量制御の安定がかかせません。
その気体流量の単なる監視だけでは無く、制御まで行える、マスフローコントローラです。

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取り扱い企業

企業名
ビュルケルトジャパン株式会社同企業の情報・その他製品を見る
所在地
〒112-0005 東京都文京区水道1-12-15白鳥橋三笠ビル
電話
03-5804-5020
Webサイト
サービス提供エリア
北海道・東北
北海道、青森県、岩手県、宮城県、秋田県、山形県、福島県
関東
東京都、神奈川県、埼玉県、千葉県、茨城県、群馬県、栃木県
東海
愛知県、静岡県、岐阜県、三重県
北陸・甲信越
山梨県、新潟県、富山県、石川県、福井県、長野県
関西
大阪府、京都府、兵庫県、滋賀県、奈良県、和歌山県
中国・四国
鳥取県、島根県、岡山県、広島県、山口県、徳島県、香川県、愛媛県、高知県
九州・沖縄
福岡県、佐賀県、長崎県、熊本県、大分県、宮崎県、鹿児島県、沖縄県

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低コスト化も実現可能！IoT時代のマスフローコントローラ

【小～大流量を1台で制御！微小～高差圧(10kPa～1.0MPa)にも対応！低コスト化も実現可能なドイツ発IoT時代のMFC】 Industry4.0で注目されるドイツ製造業。ドイツの老舗流体制御機器メーカーのビュルケルトから、IoT時代に対応したマスフローコントローラのご提案です！ 《製品の特長》 1台で何役もこなします！ ●小流量から大流量まで（例えば20～1500Nl/min(N2)）を一台で制御可能 ●インライン式センサ搭載により10kPaの低差圧でもスムーズな制御を実現 ●1.0 MPa(10bar)の高差圧でもスムーズな制御 ●樹脂シールとシャットオフ機能により完全な締め切りを実現 ●高速で指示値（セットポイント）に追従し安定（0.3～0.5秒以内） ●最新機種では最大流量2500L/minクラスも！ 簡単導入＆直ぐにご使用可能です！ ●校正済みで出荷されるため、設定不要＆調整不要で直ぐに使用可能 ●専用電源は不要（DC24Vにて起動）で簡単導入 ビュルケルトならでは＆IoT世代 ●アナログ入出力信号だけではなく、OpenCAN、フィールドバス、RS485等の通信方式にも柔軟に対応 ●保護等級IP65取得機種も準備 ●メンテナンス性や省スペース性にも特化したご提案も可能です！ 《用途》 ■水素ステーション関連 ■薄膜合成過程におけるガス流量制御 ■アンモニア除去装置 ■半導体の排ガス燃焼装置 ■各種分析装置のガス流量制御 ■プラズマ制御 などなど．．．

解決できる課題

  • 品質向上
  • 省スペース
  • 生産効率改善

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MAGMAX® EGM6300C

■サニタリ仕様 一体形電磁流量計 MAGMAX® EGM6300Cは、サニタリ仕様のPFA ライニング検出部EGS6000 と高性能変換部EGC300 を組み合わせた高性能・高信頼性を実現したサニタリ仕様一体形電磁流量計です。接液部のライニング材質には、FDA(アメリカ食品医薬品局)の基準を満たすPFAを採用しており、また、EHEDG(欧州衛生工学・設計グループ)および3A(アメリカの乳業メーカー、乳機メーカーおよび国家の三者が定めた協会)の認証も取得しております。標準仕様としてISO規格のクランプ接続を採用しており、配管からの着脱が容易であり、食品、飲料、薬品などのアプリケーションに幅広くご使用頂けます。 ※「MAGMAX」は、東京計装の登録商標です。 【特長】 · 検出部ハウジングには、すべてステンレス材（SS304）を採用し、サニタリ性に優れている · 接液部のライニング材質にはFDA の基準を満たす高品質無着色PFA を採用。PFA ライニングは測定管内面の ステンレス製補強メッシュに溶着して流体からの熱応力、負圧による変形に対する耐クリープ性に優れている · 検出部内部は可動部や流れを妨げるものがなく、CIP洗浄、SIP洗浄に最適です · 標準仕様としてISO 規格のクランプ接続を採用し、配管からの着脱が容易です · 高精度 指示値の± 0.5% · ハイスピード信号処理により、高速応答を実現。バッチプロセスや脈動流に対応可能 · EHEDG、3A の認証を取得 【主な仕様】 測定対象 液体 (導電率 1μS/cm以上、ただし水の場合は最小 20μS/cm) 励磁方式 矩形波励磁 流体温度 -40 ～ ＋120 ℃ （スチーム洗浄は、最大140℃、30分までとします） 流体圧力 -0.098 ～ +0.98MPa 流量レンジ　最大：0 ～ 339 m³/h 　　　　　　最小：0 ～ 0.53 m³/h 流速レンジ　最大：0 ～ 12m/s 　　　　　　最小：0 ～ 0.3m/s 口径 25､40､50､65、80､100 mm プロセス接続 ISO 2852 クランプ 接液部材質　ライニング：PFA 　　　　　　電極：ハステロイ®C4 （オプション：SS316、チタン） 　　　　　　プロセスアダプタ：SS316L（ガスケット：シリコンゴム） 本体材質　検出部ハウジング：SS304 　　　　　変換部ハウジング：アルミニウム合金 塗装 ポリシロキサンエポキシ樹脂塗装 測定精度　表示およびパルス出力：指示値の±0.5% (流速0.33m/s以上) 　　　　　　　　　　　　　　　　指示値の±0.2%+流速誤差±0.001m/s (流速0.33m/s未満) 表示器　ドットマトリックスLCD(バックライト付) 　　　　最大2画面の切替で1画面に1 ～ 3行表示可能 　　　　表示内容：瞬時流量、流速、積算流量、導電率、コイル温度、 自己診断結果、設定メニューなど 出力　電流出力：DC4-20mA 　　　パルス出力/状態出力：オープンコレクタ その他の標準機能 任意単位設定、自動ゼロ調整、正逆両方向測定、2重レンジ測定、励磁周波数切り替え、自己診断、停電補償、テスト機能、プッシュボタン設定、HART®通信 電源　AC100～230V 　　　DC24V 保護等級 IP66/67(IEC 60529)

解決できる課題

  • 品質向上
  • 生産効率改善

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Type8081 超音波式流量計

【圧力損失が少なく、流体に異物が混入していても影響を受けにくい流量計です！】 超音波を利用した流量計です。流体に異物が混入していても影響を受けにくいという特徴があります。また計測レンジが非常に幅広く、圧力損失が少ないのも特徴です。 ＜計測流量範囲＞ 0.06 ～ 20[L/min] 0.1 ～ 50[L/min] 0.16 ～ 82[L/min] 0.6　～ 116[L/min] 1.0 ～ 200[L/min] 《仕様》 ○口径 ： DN15 ～ 25 ○接続 ： G ネジ、NPT ネジ ○電圧 ： DC12 ～ 36V ○表示 ： 無し ○信号出力 ： 4 ～ 20mA、パルス信号 ○シート材質 ： EPDM ○内面材質 ： ブラス( 黄銅)/ PES ○流体圧力 ： 最高１.6MPa ○流体温度 ： 5 ～ 90℃

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  • 品質向上
  • 省スペース
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コリオリ式液体マスフローコントローラType8756

【ビュルケルトのコリオリ式液体MFC（マスフローコントローラ）は、10～280g/minの液体流量を計測・コントロールします】 ビュルケルトのコリオリMFC（液体マスフローコントローラ）は、10～280g/minの液体流量を計測・コントロールします。 市場にある液体用マスフローコントローラと比べ、より大きな流量をコントロールいただくことが可能です。 《仕様》 ・流量範囲　　スパン 1:300 　最小：10[g/min] 　最大：280[g/min] ・流体：コリオリ式で測定できるもの各種 　　　　※スラリーは不可 ・流体圧力　　最大1.0[MPa] ・流体粘度　　0.3〜500mPas ・許容リーク量　 <10-6 mbar * l/s He (シール材質による) ・流体温度　　-10〜70℃ ・周囲環境温度　　0〜50℃ ・精度　　±0.2% O.R. ±0.0014 kg/h ・再現性　　±0.5% F.S. ・材質　本体　　：ステンレス 　　　　カバー　：樹脂 　　　　シール　：FKM/EPDM/FFKM　選択可 ・電源DC24V ・信号　4〜20mA、0〜5V など選択可 　（EtherCAT, DeviceNet, Profibus オプション可） 《用途》 CVD/PVD、二次電池、分析機器、食品／飲料／製薬 ・純水の流調 ・薬液供給 ・電解液充填 など

解決できる課題

  • 品質向上
  • 省スペース
  • 生産効率改善

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インラインフローメーター HSIFM3A

・ライン流量の見える化による製品品質の安定化 加工ラインの流量を、リアルタイムで計測。情報は専用ソフトで流量トレンドグラフなどに可視化され、製品や加工ラインの安定、トラブルの早期発見、遠隔監視による省人力化に寄与します。 ・容易な設置 フローメーター本体は配管に直接取り付けることができ、設置が容易です。 ・シンプルな構造 計量槽、シャッター、ロードセルの組み合わせによるシンプルな構造で、メンテナンスも容易です。

解決できる課題

  • 自動化
  • 生産効率改善
  • 見える化
  • データ一元管理

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液体用フローコントローラ 最大600ml/minの腐食性流体対応

【ワイドレンジの液体用フローコントローラならビュルケルト】 ビュルケルトの液体用フローコントローラは、 「次機種ではもっと流量を出したい」 「水以外の腐食性がある流体も流せるフローコントローラが欲しい」 などのご要望に対応可能。 過酸化水素水のアプリケーションで培った経験を元に作られた ビュルケルト独自の液体フローコントローラです。 弊社独自の高性能調量弁（比例電磁弁）を搭載することで、各種スペックを向上させ、さらに通信機能を追加することでデジタル世代のフローコントローラとして誕生いたしました。 ◆最大流量をお客様の条件に合わせることが可能なので、フルスケール誤差を最小にすることが可能です。 ◆各種設定および、自己診断機能はパソコンを通じて確認・変更が可能です。 ソフトウエアは弊社HPから無料でダウンロード可能。更新費用も無し！ 《製品の特長》 ■大流量：～600ml/min (水換算) を１台で制御可能 ■流体仕様：アンモニアやメタノール、過酸化水素水といった腐食性流体にも対応 ■圧力仕様：～0.6MPaまで対応 ■応答速度：～500msec ■タイトシャット可能：別置き電磁弁の費用とスペースを削減 ■逆止弁の別途設置が不要：内部の調節弁に逆止機能あり デジタル通信対応 EtherNet/IP、EtherCAT、Modbus/TCP、 PROFINETなど各種通信に対応

解決できる課題

  • 品質向上
  • 省スペース
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エマソン_Micro Motion コリオリ流量計・密度計

Micro Motion コリオリ流量計・密度計は、食品および飲料プロセス向けに、高精度、高信頼性の流量および密度計測を提供することで生産性向上および製品ロスの削減に寄与します。高精度で二相流計測可能なELITEシリーズ、汎用タイプのFシリーズ、およびCIP洗浄可能な直管型Tシリーズなどから最適な製品をお選びいただけます。また、流量計の診断やヒストリアン機能を搭載した最新のトランスミッタとの接続によりさらなる信頼性の向上を実現します。

解決できる課題

  • 利益率改善
  • 経費削減
  • 品質向上
  • コスト削減
  • 自動化
  • IoT、DXの活用
    • …

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MASSMAX®7400R シリーズ

■ストレートシングルチューブ コリオリ質量流量計 MASSMAX® 7400R シリーズは、低圧力損失と洗浄性の良さで好評を得ている”ストレートシングルチューブ”形検出器と高機能形変換器MMC400Rを組み合わせたコリオリ質量流量計です。 画期的なセンシングテクノロジーにより、”取付が容易で高精度”の両立を実現し、これまでのストレートチューブタイプに必要であった外部振動対策など難しい取付制限はありません。センサチューブ材質（接液部）は標準でチタンを採用、オプションでHastelloy®C-22、ステンレス鋼、タンタルも対応が可能です。サイズは6 ～ 80mmの7サイズをラインナップしています。 ※「MASSMAX」は、東京計装の登録商標です。 【特長】 · 完全ストレートシングルチューブ · 容易な設置 外部振動対策など難しい取付制限はありません。配管スペースおよび設置工事費の削減に貢献します。 · 高精度：指示値の±0.1%（＋ゼロスタビリティ） · 高いゼロスタビリティと耐振性 · 安全なステンレス製アウターシリンダ二重構造 · 質量流量(瞬時および積算)、密度、温度を1台で同時測定可能 · 一体形および検出器－変換器分離形をラインナップ · 日本防爆品およびATEX/IECEx防爆品をラインナップ · 接液部材質はチタン（標準）、Hastelloy® C22、 ステンレス鋼、タンタルを用意。 幅広いアプリケーションに対応 【主な仕様】 測定方式 コリオリ式 測定対象 液体全般 流体温度 -40 ～ ＋150℃（センサチューブ;チタン） 　　　　　0 ～ ＋100℃（センサチューブ;Hastelloy® C22、ステンレス鋼、タンタル） 流体圧力 10 MPa max.（チタン） 　　　　　5 MPa max.（Hastelloy® C22、ステンレス鋼、タンタル） 流体密度 500 ～ 2000 kg/m³ 測定レンジ 12 ～ 560,000 kg/h サイズ 06、10、15、25、40、50、80 mm プロセス接続 フランジ：JIS10K/20K相当、ASMEクラス150/300相当、他 　　　　　　　サニタリー継手：ISO2852フェルール、他 材 質　接液部：(センサチューブ/フランジガスケット座) チタン、Hastelloy® C22、ステンレス鋼、タンタル 　　　非接液部：(フランジ/アウターシリンダ) ステンレス鋼 精度(工場校正精度) 　質量流量(パルス出力)：指示値の±0.1% ＋ ゼロスタビリティ 保護等級 IP66/67(IEC 60529) 表 示 器 　青色ドットマトリクスLCD（バックライト付） 出 力　電流出力：DC4-20mA(Max.22mA) 　　　パルス・状態出力：オープンコレクタ 電源　AC100～230V(85～253V) 　　　DC24V(11～31V) 防爆仕様 日本防爆、ATEX/IECEx防爆

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コリオリMFC(液体マスフローコントローラ)

【ビュルケルトのコリオリMFC（液体マスフローコントローラ）は、10～280g/minの液体流量を計測・コントロールします】 市場にある液体用マスフローコントローラと比べ、より大きな流量をコントロールいただくことが可能です。 《製品の特長》 ■流量測定最大25 kg/h（水） ■非常に高い精度と範囲 ■高い長期安定性、ゼロ点調整不要 ■耐性の高い媒体接触素材 ■多種多様な液体に使用可能 《仕様》 ・流量範囲　　スパン 1:300 　最小：10[g/min] 　最大：280[g/min] ・流体：コリオリ式で測定できるもの各種 　　　　※スラリーは不可 ・流体圧力　　最大1.0[MPa] ・流体粘度　　0.3〜500mPas ・許容リーク量　 <10-6 mbar * l/s He (シール材質による) ・流体温度　　-10〜70℃ ・周囲環境温度　　0〜50℃ ・精度　　±0.2% O.R. ±0.0014 kg/h ・再現性　　±0.5% F.S. ・材質　本体　　：ステンレス 　　　　カバー　：樹脂 　　　　シール　：FKM/EPDM/FFKM　選択可 ・電源DC24V ・信号　4〜20mA、0〜5V など選択可 　（EtherCAT, DeviceNet, Profibus オプション可） 《用途》 CVD/PVD、二次電池、分析機器、食品／飲料／製薬 ・純水の流調 ・薬液供給 ・薬剤充填 など

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大気圧プラズマ向 マスフローコントローラ（MFC）

【最大1500SLPM（窒素ガス）までの制御が行える、大流量マスフローです】 単純なマスフローメータであれば、1500SLPMの計測を行えるものは珍しくありませんが、 流量監視だけでなく、内蔵比例電磁弁にて制御まで行える、大流量マスフローコントローラです。 ＊保護等級　IP 65　取得機種有り 対象ガス：窒素／空気／酸素／水素／ヘリウム／アルゴン／二酸化炭素　など、腐食性の無いガス。 注：アンモニア仕様は特注できます。 ガス種によって、使用可能な流量／圧力範囲は異なりますので、お問合せください。（＊保護等級　IP 65　取得機種有り ） 《用途》 大気圧非平衡プラズマの流体制御 プラズマの安定には、エネルギー源の安定の他に、媒体となる気体（窒素、アルゴン、ヘリウム、その他）の流量制御の安定がかかせません。 その気体流量の単なる監視だけでは無く、制御まで行える、マスフローコントローラです。

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